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高精度电容式微型压力传感器

发布日期:2020-09-01 09:25

  本文从应用开发MEMS产品的实用角度出发,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺.文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图,...

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